Kategorie: / Technika:

Monitorování nanášení vrstev ve vakuových komorách

Řadu důležitých parametrů tenkých vrstev lze měřit přímo v průběhu depozice - tloušťka vrstvy, index lomu, drsnost povrchu, odrazivost, polarizace, atd. - a to spektroskopicky nebo spektroskopickou interferometrií. K přenosu světla dovnitř i vně vzdálených vakuových a čistých komor lze použít optická vlákna, která se na vnějším konci připojí do vhodného zdroje a detektoru. Osvětlující a detekční vlákna lze při nanášení vrstev uspořádat do různých pozic relativně k vrstvě; tím je možné měřit zrcadlový odraz, difuzní odraz, polarizaci, interferenci, fluorescenci a také Ramanův rozptyl.


V sériové produkci je možné umístit sadu optických vláken ve vhodných pozicích tak, aby monitorovaly celou výrobní sérii. V případě, že je depoziční proces zdrojem charakteristického světelného záření (typicky plazmové leptání nebo depozice, vysokoteplotní CVD) jej lze monitorovat v reálném čase (emisní spektroskopie) a případně pomocí zpětnovazební smyčky řídit proces.

Většina aplikací vyžaduje pro monitorování specializovanou spektroskopickou sestavu. Můžete nás kontaktovat o důvěrnou radu, jaké položky jsou nejlepší s ohledem na Vaši aplikaci. Zde je pouze jeden příklad systému.

V tomto případě reflexní snímač monitoruje souvislý proces nanášení vrstev. Světlo prochází do vakuové částí skrze vakuovou průchodku a odráží se na analyzované vrstvě zpět do sondy, odkud pokračuje jiným vláknem do spektrometru. Samotnou sondu odrazivosti lze odpojit pomocí SMA konektorů a vyndat ji z vakuové komory, není-li potřeba. Lze také přidat druhý kanál k referenčnímu měření, čímž je možné kompenzovat vliv kolísání světelného zdroje.

Typické uspořádání k měření ve vakuových komorách:



Komponenty použité v sestavě k měření ve vakuových komorách:

Spektrometr AvaSpec-2048-USB2
mřížka UA (200–1100 nm), 50μm štěrbiny, DUV krytí, DCL-UV/VIS, OSC-UA
Software AvaSoft-Full, XLS nebo PROC add-on
Světelný zdroj  vyvážený deuterium-halogenový světelný zdroj AvaLight-DH-S-BAL
Optická vlákna reflexní sonda FCR-7UV200-2-ME UV/VIS, 2 m, SMA
FC-UV600-2 a FC-UV200-2
Vakuová průchodka  FC-VFT-UV200 a FC-VFT-UV600

 

Pro více informací nás kontaktujte.


Měřicí technika Morava s.r.o. | Babická 619 | 664 84 Zastávka u Brna | tel.: + 420 513 034 408 | e-mail: info@mt-m.eu

Created by> eX-press.cz